设备介绍
ZY-1185 多弧离子真空镀膜机是用于在各种工具、刀具、抗磨零件等表面涂装硬质或超硬质耐磨涂层的专用设备。设备合理配备多套最新研制的阴极电弧,有效保障弧源溅射的稳定性与均匀性,同时采用先进的多路进气系统,精准控制气体流量,满足客户多种化合物膜层需求。另外,本品还装载大功率脉冲偏压电源,能极大提高电离子能量,保证离化率高、离子能量大、沉积速度快,从而获得优秀的膜层结合力和光洁度。
设备特点
电弧在靶材整个表面做快速移动,靶材表面被均匀刻蚀,优化了涂层结合力,涂层表面光滑致密,且具有优异的涂层附着力。
拥有更快的批次周转效率和涂层生产效率。
在有效镀层范围内涂层厚度均匀。
高质量的硬质涂层允许工具具有更高的切削和进料速度,并由于延长使用寿命而减少了更换工具的时间,从而降低了总加工成本。
涂层的摩擦性和硬度允许减少润滑和冷却,保证加工零件的表面质量更好。
设备参数
炉体尺寸 |
φ1100×H850 |
有效空间 |
φ550×H500 |
极限压力 |
5.0×10-4Pa |
抽气时间 |
大气到4X10-3 <20分钟 |
真空系统 |
分子泵、罗茨泵、旋片泵 |
电源类型 |
弧电源、脉冲偏压电源、枪电源 |
工件转架结构 |
下转架结构 |
应用技术 |
HCD+ARC |
标准涂层 |
TiN、CrN、AlTiN等 |
可选涂层 |
TiAlCrN等 |
生产周期 |
3-5小时/炉 |
外围尺寸 |
L4000×W3200×H2200 MM |
实际功率 |
50KW |
产量/炉 |
铣刀φ10×70 680 刀粒φ18×6 5000 滚刀φ80×80 48
模具 500KG
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配套条件 |
循环水压力:2-3KG/CM3 水量:10T/H 压缩空气:4-6 KG/CM3 |
工作气体 |
Ar、N2、O2、C2H2等 |
控制方式 |
手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+PLC(自己开发的镀膜专用软件) |
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服务热线
024-89335192