炉体尺寸

φ1100*H850

有效空间

φ550*H500

工件最大直径*数量

φ150*8个

溅射阴极

12ARC

工作电压/频率

380V/50Hz

实际功率

50KW

应用技术

HCD+ARC

靶材数量

12个

极限压力

5.0*10^-4Pa

漏率

<10^-3Pa.L/s

抽气时间

大气到4*10^-3 <20分钟

弧源数量

12个

标准涂层

TiN、CrN、AlTiN等

其它复合涂层

TiSiN、TiAlCrN、TiAlCN等

工件转架结构

下转架结构

真空室结构

立式单开门

电源类型

弧电源、脉冲偏压电源、电子枪电源

真空系统

分子泵、罗茨泵、旋片泵

生产周期

3-5小时/炉

外围尺寸

L4000*W3200*H2200MM

产量/炉

铣刀φ10*70  680  

刀粒φ18*6  5000  

滚刀φ80*80  48   

模具500KG

配套条件

循环水压力：2-3KG/CM³

水量：10T/H  

压缩空气：4-6 KG/CM³

控制方式

手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+PLC

自己开发的镀膜专用软件

工作气体

Ar、N₂、O₂、C₂H₂等

备注

真空室尺寸，外围尺寸，设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做

涂层

颜色

纳米硬度（HV0.05）

摩擦系数

涂层厚度 um

最高使用温度℃

结构

主要特点

应用

TiN

金黄色

2400

0.40

1-4

500

单层膜

通用的硬质涂层

主要用于车削、铣削、钻削及齿

轮类 刀具的耐用涂层和成型、

注塑模 的防粘连，提高润滑性

及耐磨保护 涂层。

CrN

银灰色

2000

0.40

1-4

700

单层膜

通用的耐腐蚀膜层，低粘附倾向

具有良好的抗粘结性，抗腐性，耐磨性。几乎适合加工所有材

料，包括高硅铝、不锈钢、高

镍合 金、钛和复合材料、注

塑模具、零 件、橡胶模具、硅

胶模具、半导 体封装模具等。

TiCN

蓝灰色

3000

0.20

1-4

400

梯度复合膜

低摩擦系数，高硬度

在TiN基础上，提高了涂层的硬度、 并降低摩擦系数，主要用于高速 钢刀具、冲压模具、成型模具。

TiAlN

紫红色

3500

0.40

1-4

850

单层复合膜

通用的硬质抗氧化涂层

红硬性良好，表面光洁度高，可用 于高速加工。适合模具钢、HSS、 硬质合金工具（加工材

料硬度低于 HRC45）、薄壁件

冲压模具。

AlTiN

紫黑色

3800

0.45

1-4

900

多层复合膜

超高硬度，抗氧化

具有极高的微硬度，热硬度。适合 于具有高热应力的工具涂层，并 具备良好的耐热冲击性，有

快 速间断切削应用的优先选择。广 泛用于硬质合金工具（加工

材料 硬度低于HRC45）、压铸模具。

TiAlCrN

灰色

3300

0.70

1-3

800

多层复合膜

高硬度，抗氧化，抗冲击

中等切削速度下的硬质材料机械加工

TiAlCN

枚红色

3500

0.20

1-4

800

梯度复合膜

高硬度，抗氧化

AlCrN

灰黑色/深灰色

3200

0.35

1-4

1100

单层膜

非常高的抗氧化温度和红硬性

高速下的硬切削，中到高硬度材 料的铣削、滚铣，由于几何 体产生高冲击负载的工具上的应用